PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案
2022-05-27 20:09:04
在微電子行業(yè)中，為了精準(zhǔn)控制各類制造、檢測(cè)類設(shè)備的溫度，液冷技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。例如，在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，晶圓夾具必須配備液冷系統(tǒng)，用以帶走由高能離子轟擊時(shí)產(chǎn)生的熱量，并控制晶圓溫度。否則，晶圓就有可能因溫度太高而造成光刻膠的網(wǎng)狀組織化。
由此可見(jiàn)，液冷系統(tǒng)不僅關(guān)乎設(shè)備的安全運(yùn)行和使用壽命，還關(guān)乎最終產(chǎn)品的良率與性能。在整個(gè)液冷系統(tǒng)的組件中，選用合適的管路及接頭非常關(guān)鍵。作為流體傳動(dòng)行業(yè)“無(wú)泄漏”的先行者，派克漢尼汾可為微電子行業(yè)的液冷系統(tǒng)提供多種高品質(zhì)流體連接解決方案，滿足不同設(shè)備的冷卻需求。
NSS 快換接頭
采用平齊端面閥芯，斷開(kāi)無(wú)溢流；大流量通流能力，提供優(yōu)異的流量-壓降特性，冷卻性能穩(wěn)定、能耗低；采用對(duì)齊導(dǎo)向即插連接和套筒反推斷開(kāi)設(shè)計(jì)，操作方便、不會(huì)意外斷開(kāi)；不銹鋼材質(zhì)，多種密封材質(zhì)和油口選項(xiàng)可選。
O-LOK不銹鋼接頭
采用端面 O 形圈軟密封，該密封圈嵌在派克特有的O形圈鍥形槽內(nèi)，密封性能更加穩(wěn)定可靠。這不僅進(jìn)一步提升裝配安全性，還能更好實(shí)現(xiàn)無(wú)泄漏連接，優(yōu)化安裝和維護(hù)成本。由于連接及密封性能高度可靠，它能進(jìn)一步減少微電子行業(yè)冷卻系統(tǒng)管路的重復(fù)安裝，降低維護(hù)成本。
PTFE軟管
PTFE系列軟管中的979BXT、929BJ、919B和 NCW/NCB 軟管可用于液冷管路，采用PTFE芯管，是因?yàn)槠渚哂辛己玫慕橘|(zhì)兼容性；靈活性好；抗扭結(jié)和耐真空；無(wú)RFI問(wèn)題。
801軟管
PARKER801軟管是針對(duì)冷卻應(yīng)用而設(shè)計(jì)研發(fā)的多用途軟管產(chǎn)品，可與多種水基冷卻介質(zhì)兼容；與旗下的82系列Push-Lok接頭匹配，無(wú)需扣壓和抱箍、易于安裝，節(jié)省安裝時(shí)間和成本；6種顏色可選，便于識(shí)別；801軟管采用本地化生產(chǎn)，交期快，供應(yīng)安全。
目前，派克漢尼汾旗下的高品質(zhì)流體連接解決方案已在微電子行業(yè)得到成功應(yīng)用，性能表現(xiàn)深受客戶認(rèn)可。
01
國(guó)內(nèi)某半導(dǎo)體薄膜設(shè)備廠商為其潔凈室的去離子水冷卻系統(tǒng)選用NSS快換接頭，與位于室外的循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)建立快速連接。
在這個(gè)應(yīng)用中，由于冷卻系統(tǒng)位于潔凈室，快換接頭在實(shí)現(xiàn)快速連接的同時(shí)，還要符合潔凈室生產(chǎn)要求。NSS快換接頭材質(zhì)與去離子水兼容，耐腐蝕。
接頭斷開(kāi)時(shí)端面基本無(wú)介質(zhì)殘留，可減少污染物產(chǎn)生，符合潔凈室生產(chǎn)要求；
連接夾氣量少，能降低冷卻系統(tǒng)的氣泡；
插拔便捷，作業(yè)效率高。
此外，還可進(jìn)一步優(yōu)化冷卻管路壓降，提升系統(tǒng)能效。
02
在與另一家國(guó)際知名的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商的合作中，派克漢尼汾攜手國(guó)內(nèi)分銷伙伴，為該行業(yè)客戶用于信號(hào)發(fā)射和芯片傳輸檢測(cè)設(shè)備的水冷系統(tǒng)提供管路系統(tǒng)解決方案。
憑借更為可靠的密封性能，O-LOK不銹鋼接頭為該系統(tǒng)提供無(wú)泄漏連接。同時(shí)，在分銷伙伴的大力支持下，產(chǎn)品交期準(zhǔn)時(shí)有保障，滿足客戶貨期要求，解除客戶后顧之憂。
此外，派克漢尼汾還可提供Legris 接頭和氣管、Rectus不銹鋼快換接頭和PS系列旋轉(zhuǎn)接頭等產(chǎn)品供客戶選擇。
